Název produktu: Scandium Sputtering Target
Přezdívka produktu: scandium target, scandium target assembly, Sc target
Vzhled: stříbrná
Teplota tání: 1541 stupňů
Bod varu: 2836 stupňů
Hustota: 2,985 g/cm3
Čistota: Sc/TREM Větší než nebo rovna 99,99 % TREM Větší než nebo rovna 99,9 %
Density: >99.5%
Průměrná velikost zrna:<500μm
Uvedená drsnost:<2μm
Specifikace: rovinný terč, kulatý terč, otočný terč (velikost lze přizpůsobit dle požadavků zákazníka)
Vazba: Indium pájení (způsob vazby a materiál zadní desky lze přizpůsobit podle zákazníků)
Technické vlastnosti: ultravakuové lití, čištění terče a zpracování plastů
Použití cíle scandium:
Skandiová naprašovací elektroda je klíčovým materiálem pro přípravu kovových skandiových tenkých vrstev pomocí fyzikálního napařování (PVD). Sestava skandiového terče se skládá z polotovaru skandiového terče a zadní desky připájené dohromady. Polotovar skandiové terče je materiál terče pro ostřelování vysokorychlostním iontovým paprskem a je hlavní částí naprašovacího terče. Během procesu naprašování, poté, co je polotovar skandiové terče zasažen ionty, jsou atomy skandia na jeho povrchu rozprášeny a ukládány na substrát. Vyrábí se na nich elektronické tenké filmy. Vzhledem k tomu, že vysoce čistý skandiový kov je měkký, musí být naprašovací terč instalován ve speciálním stroji, aby byl proces naprašování dokončen. Uvnitř stroje je prostředí vysokého napětí a vysokého vakua. Proto musí být skandiový terčový polotovar spojen se zadní deskou různými svařovacími procesy. Zadní deska plní hlavně úlohu upevnění naprašovacího terče a musí mít dobrou elektrickou a tepelnou vodivost a je obecně vyrobena z mědi. Existují čtyři běžně používané způsoby spojování: svařování elektronovým paprskem, difúzní svařování, pájení indiem a lepení. Mezi nimi je nejpoužívanější pájení indiem.
Skandiové kovové filmy lze použít k přípravě piezoelektrických filmů AlScN, které jsou v současné době velmi perspektivními polovodičovými materiály. Piezoelektrický filmový materiál AlScN má významné výhody, jako je vysoká rychlost zvuku, dobrá tepelná stabilita, široká pásmová mezera a je zvláště kompatibilní s procesem CMOS. Zároveň dokáže překonat malý piezoelektrický koeficient a elektromechanický vazební koeficient piezoelektrického filmu z nitridu hliníku (AlN). Má důležité aplikace v objemových akustických vlnách (BAW), povrchových akustických vlnách (SAW), získávání energie, ultrazvukové detekci a tranzistorech s efektem pole. Dopováním vysokého obsahu skandia do nitridu hliníku lze výrazně zlepšit piezoelektrický výkon a elektromechanický vazební koeficient radiofrekvenčních zařízení. AlScN může nahradit materiály z nitridu hliníku v 5G vysokofrekvenčních předních filtrech BAW (FBAR)/SAW a má skvělé vyhlídky na uplatnění v oblasti energetických zařízení nové generace.
In semiconductor chip coating, there are strict requirements on the purity and microstructure of the scandium target. If the impurity content is too high, the formed film will not be able to achieve the required electrical properties for use, and will easily form on the wafer during the sputtering process. Particles are formed on the film, causing short circuit or damage to the circuit, which will seriously affect the performance of the film. The scandium targets produced by HNRE use high-purity scandium raw material Sc/TREM>99.99%. After rolling porcess, the grain size is less than 500μm and the density is>99,5 %. Byl dodáván mnoha světově uznávaným polovodičovým společnostem.
Populární Tagy: skandiový kovový terč, Čína výrobci, dodavatelé skandiových kovových terčů